第16章 給我一個滿意的答覆
李清泉回頭:“你現在就有機器?”
“對,就在後院……”
高遠也不打馬虎眼,這個時候,直截了當的把實物撂出來,比說的天花亂墜有說服力多了。
李清泉明顯安穩了不少……
“那就看看!”
三人來到後院,十臺光刻機就在院子裡一個角落擺著,體積不大,外形看上去有些像印刷機!
十臺光刻機都被篷布蓋住……
高遠隨手掀開一臺……
“就是這個……李主任,你可以開機試試!雖然沒有硅晶圓,不過你應該有能力測試出性能……對吧?”
高遠當然有硅晶圓,但是他沒準備現在機暴露出來,現在只是給夏為一個機會,隨便換點錢……
一次性出太多了,難免引起別人的覬覦,即便只有光刻機,這個誘惑也足夠大了!
李清泉皺著眉,走過去,就這樣隨便扔在院子裡,看起來體積也不大,這樣的東西真的能生產出3nm製程的芯片?
不過來都來了,他肯定要試一試……
接通電源,李清泉打開光刻機,一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。
不過高遠從未來世界換回來的光刻機,明顯比地球上的光刻機先進了不止一點……
李清泉只是看了一眼,就再也不淡定了……
此時他整個人趴在光刻機上,看著裡面的工作程序……
雖然沒有硅晶圓,但是現在是測試模式,李清泉已經看到歎為觀止。
高端光刻機號稱世界上最精密的儀器,堪稱現代光學工業之花!
而現在世界上最精密的光刻機採用的光源是波長在10-15nm的極紫外光,波長越短,就表示光刻的刀鋒越鋒利,刻蝕對於精度控制要求越高。
在李清泉的認知裡,10-15nm的極紫外光已經是極致了,但是他眼前的光刻機,不是採用極紫外光,而是採用的光子……
這就好比別人用的是刻刀,而這臺機器已經用上了激光。
光子是一種微觀的基本粒子,是一種規範玻色子,採用光子做光源,理論上可以達到任何精度……