領航 作品

第075章 芯片流片完成

“這次只是流片測試,不是批量生產,所以使用的晶圓只有30片。現在正在進行的步驟是塗膠,也就是使用塗膠機,將光刻膠均勻的塗抹在晶圓的表面。下面要進行的步驟是第一次光刻機光刻,後面還有顯影、刻蝕、離子注入等步驟。”

王院士不愧是老牌教授,基礎知識紮實,口才出眾,講解的深入淺出,即使喬瑞達這個第一次接觸芯片生產的新人,也聽了個清楚明白。

就這樣,喬瑞達跟在王院士的身後,將芯片的生產流程,從頭到尾的跑了一遍。由於要用到多重曝光技術,塗膠、光刻、顯影等步驟,要來回折騰好幾次,其間還要更換掩膜版和部分摻雜用料,耗時十分之長。所以當30片六寸晶圓,跑完所有工序,走下生產線的時候,已經是傍晚時分了。

加工完成的硅晶圓,表面多了一些花花綠綠的刻蝕圖案,看起來非常的漂亮。王院士親自動手,將這30片硅晶圓,放到一個密閉容器中,封存了起來,而後說道:“今天時間不早了,就到這裡吧,明天上午再去做切割和封裝測試,到時候就可以知道這次的流片是否成功了。”

喬瑞達跟隨在一群工作人員的後面,走出了無塵車間,而後排隊等待乘坐電梯返回一樓。

“從負一層到一層,只有一層樓的高度,還要排隊坐電梯,這也太奇怪了吧,就不能走樓梯嗎?”

“你知道什麼,無塵車間本身挑高就有五六米,在上面還有一箇中間層,用於安裝空調、通風除塵設備。也就是說負一層到地面,至少有十米以上的垂直高度。更重要的是出於保密的需要,普通樓梯只做應急逃生作用,平時是關閉的,所以大家只能排隊乘坐電梯上下。”

在排隊等待期間,喬瑞達打開金手指,調出圖庫界面,在那裡有一千多張嶄新的照片,是在今天拍攝的。照片的內容,正是隔壁無塵車間內的那套芯片生產設備。

“這些設備估計幾年內使用不到,除非有一天瑞達科技涉足到芯片生產領域。還是建個文件夾,保存起來吧,有備無患。”